【时讯科普】硅晶片的生产工艺

生产过程中最重要的工艺是抛光晶圆片，此工艺在超净间中进行。

超净间从一到一万分级，这些级数对应于每立方米空间中的颗粒数。

这些颗粒在没有控制的大气环境下肉眼是不可见的。

例如起居室或办公室中颗粒的数目大致在每立方米五百万个。

为了保持洁净水平，生产工人必须穿能盖住全身且不吸引和携带颗粒的洁净服。

在进入超净间前，工人必须进入吸尘室内以吹走可能积聚的任何颗粒。

硅晶片大多数生产型晶圆片都要经过两三次的抛光,抛光料是细浆或者抛光化合物。

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